Поиск

Осаждение и исследование тонких пленок CVD-алмаза, легированных бором

Авторы: Мартынова, Т. В. Полушин, Н. И. Лаптев, А. И. Маслов, А. Л. Спицын, Б. В. Алексеенко, А. Е. Аверин, А. А. Архипушкин, И. А.
Местонахождение Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/696782867
Дата корректировки 14:47:47 29 января 2022 г.
ISBN 978-985-530-920-9
Служба первич. каталог. Шайковская
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 548.55
Автор Мартынова, Т. В.
Осаждение и исследование тонких пленок CVD-алмаза, легированных бором
Электронный ресурс
Место издания Минск
Издательство БГТУ
Дата издания оригинала 2021
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 5 назв.
Ключевые слова осаждение тонких пленок
исследование тонких пленок
тонкие пленки
пленки CVD-алмаза
легированние бором
монокристаллические алмазы
Полушин, Н. И.
Лаптев, А. И.
Маслов, А. Л.
Спицын, Б. В.
Алексеенко, А. Е.
Аверин, А. А.
Архипушкин, И. А.
Организация/ юрисдикция Национальный исследовательский технологический университет «МИСИС»
Другие уровни Научно-исследовательская лаборатория сверхтвердых материалов
Институт физической химии и электрохимии имени А. Н. Фрумкина РАН
RU/IS/BASE/696343831
Инновационные материалы и технологии - 2021
Минск : БГТУ, 2021
С. 382-384
Тип документа b