Поиск

Осаждение и исследование тонких пленок CVD-алмаза, легированных бором

Авторы: Мартынова, Т. В. Полушин, Н. И. Лаптев, А. И. Маслов, А. Л. Спицын, Б. В. Алексеенко, А. Е. Аверин, А. А. Архипушкин, И. А.
Местонахождение Подробная информация
Индекс УДК 548.55
Автор Мартынова, Т. В.
Осаждение и исследование тонких пленок CVD-алмаза, легированных бором
Электронный ресурс
Место издания Минск
Издательство БГТУ
Дата издания оригинала 2021
Ключевые слова осаждение тонких пленок
RU/IS/BASE/696343831
Инновационные материалы и технологии - 2021
Минск : БГТУ, 2021
С. 382-384