Индекс УДК | 548.55 |
Автор | Мартынова, Т. В. |
Осаждение и исследование тонких пленок CVD-алмаза, легированных бором Электронный ресурс |
|
Место издания | Минск |
Издательство | БГТУ |
Дата издания оригинала | 2021 |
Ключевые слова | осаждение тонких пленок |
RU/IS/BASE/696343831 Инновационные материалы и технологии - 2021 Минск : БГТУ, 2021 С. 382-384 |