| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/693583118 |
| Дата корректировки | 10:49:46 3 июня 2022 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Шайковская |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 538.97; 539.23; 539.25 |
| Автор | Барайшук, С. М. |
|
Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремние ионно-лучевым распылением Mo, Cr Электронный ресурс |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания | 2021 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 5 назв. |
| Ключевые слова | тонкие пленки металлов |
|
пленки оксидов металлов металлические покрытия монокристаллический кремний хром молибден ионно-лучевое распыление |
|
| Другие авторы | Вертель, М. |
|
Будзинский, М. Бобрович, О. Г. Михалкович, О. М. |
|
| Организация/ юрисдикция | Белорусский государственный педагогический университет имени М. Танка |
|
Институт физики Университета им. M. Кюри Складовской, Люблин Белорусский государственный технологический университет Кафедра физики |
|
|
RU/IS/BASE/693064986 Передовые технологии и материалы будущего Минск : БГТУ, 2021 Т. 2. - С. 25-30 |
|
| Тип документа | b |
