| Индекс УДК | 538.97; 539.23; 539.25 |
| Автор | Барайшук, С. М. |
|
Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремние ионно-лучевым распылением Mo, Cr Электронный ресурс |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания | 2021 |
| Ключевые слова | тонкие пленки металлов |
| Другие авторы | Вертель, М. |
|
RU/IS/BASE/693064986 Передовые технологии и материалы будущего Минск : БГТУ, 2021 Т. 2. - С. 25-30 |
