| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/683718406 |
| Дата корректировки | 10:33:46 3 июня 2022 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Свежинцева |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 535.082.5:681.78 |
|
Гуревич, В. Л. В. Л. Гуревич |
|
|
Исследование возможностей спектральной эллипсометрии для измерения толщины тонких и сверхтонких пленок Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БНТУ |
| Дата издания оригинала | 2020 |
|
тонкие пленки сверхтонкие пленки пленки тонкие пленки сверхтонкие толщина пленок спектральная эллипсометрия измерение толщины пленки измерение пленок |
|
|
Белова, Е. А. Е. А. Белова |
|
|
Белорусский государственный институт метрологии Белорусский национальный технический университет |
|
|
Приборостроение - 2020 Минск : БНТУ, 2020 С. 189-190 RU/IS/BASE/672143416 978-985-583-587-6 |
|
| Тип документа | b |
