| Индекс УДК | 535.082.5:681.78 |
|
Исследование возможностей спектральной эллипсометрии для измерения толщины тонких и сверхтонких пленок Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БНТУ |
| Дата издания оригинала | 2020 |
|
Приборостроение - 2020 Минск : БНТУ, 2020 С. 189-190 RU/IS/BASE/672143416 978-985-583-587-6 |
