| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/654966408 |
| Дата корректировки | 15:06:48 2 октября 2020 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Крот |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.3.035.183 |
| Автор | Шекелевский, В. В. |
|
Расчет неравномерности покрытий, формируемых методом ионно-плазменного распыления Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Беларуская навука |
| Дата издания оригинала | 2019 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 2 назв. |
| Ключевые слова | неравномерность осажденных покрытий |
|
ионно-плазменное распыление тонкопленочные покрытия нанесение покрытий магнетронное распыление |
|
| Другие авторы | Диас, Р. |
| Котов, Д. А. | |
| Организация/ юрисдикция | Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники |
|
Молодежь в науке - 2019. Аграрные, биологические, гуманитарные, медицинские, физико-математические, физико-технические науки, химия и науки о Земле Минск : Беларуская навука, 2019 С. 503-506 RU/IS/BASE/638889749 978-985-08-2501-8 |
|
| Тип документа | b |
