| Индекс УДК | 621.3.035.183 |
| Автор | Шекелевский, В. В. |
|
Расчет неравномерности покрытий, формируемых методом ионно-плазменного распыления Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Беларуская навука |
| Дата издания оригинала | 2019 |
| Ключевые слова | неравномерность осажденных покрытий |
| Другие авторы | Диас, Р. |
|
Молодежь в науке - 2019. Аграрные, биологические, гуманитарные, медицинские, физико-математические, физико-технические науки, химия и науки о Земле Минск : Беларуская навука, 2019 С. 503-506 RU/IS/BASE/638889749 978-985-08-2501-8 |
