| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/654795001 |
| Дата корректировки | 15:39:53 30 сентября 2020 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Крот |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.793:66.065.2 |
| Автор | Занько, А. И. |
|
Химическое осаждение из газовой фазы пленок SiO[2] в плазме высокой плотности Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Беларуская навука |
| Дата издания оригинала | 2019 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 2 назв. |
| Ключевые слова | химическое осаждение |
|
газовая фаза пленок плазма высокой плотности диэлектрические пленки осаждение пленки SiO[2] |
|
| Другие авторы | Леонович, Н. В. |
| Котов, Д. А. | |
| Организация/ юрисдикция | Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники |
|
Молодежь в науке - 2019. Аграрные, биологические, гуманитарные, медицинские, физико-математические, физико-технические науки, химия и науки о Земле Минск : Беларуская навука, 2019 С. 460-461 RU/IS/BASE/638889749 978-985-08-2501-8 |
|
| Тип документа | b |
