| Индекс УДК | 621.793:66.065.2 |
| Автор | Занько, А. И. |
|
Химическое осаждение из газовой фазы пленок SiO[2] в плазме высокой плотности Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Беларуская навука |
| Дата издания оригинала | 2019 |
| Ключевые слова | химическое осаждение |
| Другие авторы | Леонович, Н. В. |
|
Молодежь в науке - 2019. Аграрные, биологические, гуманитарные, медицинские, физико-математические, физико-технические науки, химия и науки о Земле Минск : Беларуская навука, 2019 С. 460-461 RU/IS/BASE/638889749 978-985-08-2501-8 |
