| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/654189692 |
| Дата корректировки | 10:05:38 29 сентября 2020 г. |
| Служба первич. каталог. | Крот |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 537.311.322:681.513.2 |
| Автор | Прислопский, С. Я. |
|
Установка определения и анализа точечных дефектов на поверхности полупроводниковых пластин Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Беларуская навука |
| Дата издания оригинала | 2019 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Ключевые слова | полупроводниковые пластины |
|
поверхности полупроводниковых пластин точечные дефекты анализ точечных дефектов дефекты микротрещины царапины шероховатости |
|
| Другие авторы | Смирнов, А. Г. |
|
Станкевич, В. В. Балыкин, И. В. Рыжевич, А. А. |
|
| Организация/ юрисдикция | Институт физики им. Б. И. Степанова Национальной академии наук Беларуси, Белорусский государственный университет |
|
Молодежь в науке - 2019. Аграрные, биологические, гуманитарные, медицинские, физико-математические, физико-технические науки, химия и науки о Земле Минск : Беларуская навука, 2019 С. 427-429 RU/IS/BASE/638889749 978-985-08-2501-8 |
|
| Тип документа | b |
