| Индекс УДК | 537.311.322:681.513.2 |
| Автор | Прислопский, С. Я. |
|
Установка определения и анализа точечных дефектов на поверхности полупроводниковых пластин Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Беларуская навука |
| Дата издания оригинала | 2019 |
| Ключевые слова | полупроводниковые пластины |
| Другие авторы | Смирнов, А. Г. |
|
Молодежь в науке - 2019. Аграрные, биологические, гуманитарные, медицинские, физико-математические, физико-технические науки, химия и науки о Земле Минск : Беларуская навука, 2019 С. 427-429 RU/IS/BASE/638889749 978-985-08-2501-8 |
