| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/639570846 |
| Дата корректировки | 10:34:06 7 апреля 2020 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Перепелкина |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.3.038.6 |
|
Галковский, Тимур Вячеславович Галковский, Т. В. |
|
|
Использование метода SILD для получения материалов электронной техники Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2020 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 2 назв. |
| Ключевые слова |
матрично-пленочные структуры метод SILD методы формирования наноэлементов планарные пленочные структуры |
|
Богомазова, Наталья Валентиновна Богомазова, Н. В. Жарский, Иван Михайлович Жарский, И. М. Кукло, Л. И. Толстой, В. П. |
|
|
Интеграция и развитие научно-технического и образовательного сотрудничества - взгляд в будущее Минск : БГТУ, 2020 Т. 2. - С. 33-35 RU/IS/BASE/637688852 978-985-530-820-2 |
|
| Тип документа | b |
