| Индекс УДК | 621.3.038.6 |
|
Использование метода SILD для получения материалов электронной техники Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2020 |
| Ключевые слова |
матрично-пленочные структуры метод SILD методы формирования наноэлементов планарные пленочные структуры |
|
Интеграция и развитие научно-технического и образовательного сотрудничества - взгляд в будущее Минск : БГТУ, 2020 Т. 2. - С. 33-35 RU/IS/BASE/637688852 978-985-530-820-2 |
