Поиск

Определение толщины пленки TiO[2], на подложке Ti методом спектроэллипсометрии

Авторы: Стаськов, Н. И. Ивашкевич, И. В. Паушкина, О. А.
Местонахождение Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/635260439
Дата корректировки 13:13:59 17 февраля 2020 г.
Служба первич. каталог. Яновская
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 535
Автор Стаськов, Н. И.
Полное имя Н. И. Стаськов
Определение толщины пленки TiO[2], на подложке Ti методом спектроэллипсометрии
Текст
Место издания Могилев
Издательство МГУ им. А. А. Кулешова
Дата издания оригинала 2007
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил., табл.
Библиография Библиогр.: 5 назв.
Ключевые слова оптические методы исследования
эллипсометрия
спектроэллипсометрия
исследование тонких пленок
тонкие пленки
титановые отражающие системы
Другие авторы Ивашкевич, И. В.
Полное имя И. В. Ивашкевич
Паушкина, О. А.
О. А. Паушкина
Оптика неоднородных структур - 2007
Могилев : МГУ им. А. А. Кулешова, 2007
С. 103-106
RU/IS/BASE/627559569
978-985-480-428-6
Тип документа b