Поиск

Определение толщины пленки TiO[2], на подложке Ti методом спектроэллипсометрии

Авторы: Стаськов, Н. И. Ивашкевич, И. В. Паушкина, О. А.
Местонахождение Подробная информация
Индекс УДК 535
Автор Стаськов, Н. И.
Определение толщины пленки TiO[2], на подложке Ti методом спектроэллипсометрии
Текст
Место издания Могилев
Издательство МГУ им. А. А. Кулешова
Дата издания 2007
Ключевые слова оптические методы исследования
Другие авторы Ивашкевич, И. В.
Оптика неоднородных структур - 2007
Могилев : МГУ им. А. А. Кулешова, 2007
С. 103-106
RU/IS/BASE/627559569
978-985-480-428-6