Поиск

Определение толщины пленки TiO[2], на подложке Ti методом спектроэллипсометрии

Авторы: Стаськов, Н. И. Ивашкевич, И. В. Паушкина, О. А.
Местонахождение Подробная информация
Индекс УДК 535
Автор Стаськов, Н. И.
Определение толщины пленки TiO[2], на подложке Ti методом спектроэллипсометрии
Текст
Место издания Могилев
Издательство МГУ им. А. А. Кулешова
Дата издания оригинала 2007
Ключевые слова оптические методы исследования
Другие авторы Ивашкевич, И. В.
Оптика неоднородных структур - 2007
Могилев : МГУ им. А. А. Кулешова, 2007
С. 103-106
RU/IS/BASE/627559569
978-985-480-428-6