| Индекс УДК | 763 |
| Автор | Родионов, И. А. |
|
Применение проекционной литографии I-LINE диапазона при производстве КМОП СБИС с проектными нормами 250 и 180 нм Текст |
|
| Место издания | Москва |
| Издательство | [РОСНАНО] |
| Дата издания оригинала | 2008 |
| Ключевые слова | литография проекционная |
|
Rusnanotech'08 Москва : [РОСНАНО], 2008 С.365-367 RU/IS/BASE/605185555 |
