| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/613817251 |
| Дата корректировки | 8:48:19 14 июня 2019 г. |
| Служба первич. каталог. | Яновская |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 546.28:539.211 |
| Автор | Юрочка, А. Е. |
| Полное имя | А. Е. Юрочка |
|
Рельеф поверхности монокристаллов кремния, формирующихся в дефектовыявляющих травителях Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГУ |
| Дата издания оригинала | 2005 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 5 назв. |
| Ключевые слова | жидкостное химическое травление |
|
химическое травление жидкостное травление монокристаллы кремния кремний кислотное растворение поверхности дефектно-контрастное травление полирование поверхности |
|
| Другие авторы | Хижняк, Е. А. |
| Полное имя | Е. А. Хижняк |
|
Юхневич, А. В. А. В. Юхневич |
|
|
Свиридовские чтения Минск : БГУ, 2005 Вып. 2. - С. 146-150 RU/IS/BASE/253207909 985-485-479-5 |
|
| Тип документа | b |
