| Индекс УДК | 546.28:539.211 |
| Автор | Юрочка, А. Е. |
|
Рельеф поверхности монокристаллов кремния, формирующихся в дефектовыявляющих травителях Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГУ |
| Дата издания оригинала | 2005 |
| Ключевые слова | жидкостное химическое травление |
| Другие авторы | Хижняк, Е. А. |
|
Свиридовские чтения Минск : БГУ, 2005 Вып. 2. - С. 146-150 RU/IS/BASE/253207909 985-485-479-5 |
