| Индекс УДК | 661.68:620.18 |
| Автор | Колесникова, Е. В. |
| Разработка метода получения нанокристаллов кремния в аморфных SiO[2] и SiO[x]N[y] электронным зондом высокой удельной мощности для элементов FLASH-памяти | |
| Место издания | Москва |
| Издательство | [РОСНАНО] |
| Дата издания | 2008 |
| Ключевые слова | нанокристаллы кремния |
| Другие авторы | Заморянская, М. В. |
|
Rusnanotech'08 Москва : [РОСНАНО], 2008 С.193-194 RU/IS/BASE/605185555 |
