| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/610879839 |
| Дата корректировки | 8:50:51 11 мая 2019 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 535.51:621.383 |
| Автор | Ивашкевич, И. В. |
|
Структура пленок TiO[x] на кремниевых подложках Текст |
|
| Место издания | Могилев |
| Издательство | ГУ ВПО "Белорусско-Российский университет" |
| Дата издания оригинала | 2015 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | табл. |
| Ключевые слова |
тонкопленочные прозрачные проводящие покрытия оксид титана оксиды металлов пленки оксида титана обратная задача многоугловой эллипсометрии кремниевые подложки |
| Другие авторы | Стаськов, Н. И. |
| Другие авторы | Филиппов, В. В. |
| Организация/ юрисдикция | Могилевский государственный университет им. А. А. Кулешова |
| Источник информации |
Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии Могилев : ГУ ВПО "Белорусско-Российский университет", 2015 С. 290-291 RU/IS/BASE/605183721 978-985-492-144-0 |
| Тип документа | b |
