| Индекс УДК | 535.51:621.383 |
| Автор | Ивашкевич, И. В. |
|
Структура пленок TiO[x] на кремниевых подложках Текст |
|
| Место издания | Могилев |
| Издательство | ГУ ВПО "Белорусско-Российский университет" |
| Дата издания оригинала | 2015 |
| Ключевые слова |
тонкопленочные прозрачные проводящие покрытия оксид титана оксиды металлов пленки оксида титана обратная задача многоугловой эллипсометрии кремниевые подложки |
| Другие авторы | Стаськов, Н. И. |
