Поиск

Исследование кинетики окисления тонких пленок титана методами нейтронной и рентгеновской рефлектометрии

Авторы: Матвеев, В. А. Плешанов, Н. К.
Местонахождение Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/609335794
Дата корректировки 11:56:34 23 апреля 2019 г.
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Служба первич. каталог. Боровик
Код языка издания rus
Индекс УДК 544.4:681.7.064.423
Автор Матвеев, В. А.
Исследование кинетики окисления тонких пленок титана методами нейтронной и рентгеновской рефлектометрии
Текст
Место издания Санкт-Петербург
Издательство ЛЕМА
Дата издания оригинала 2014
Библиография Библиогр.: 6 назв.
Ключевые слова тонкие пленки
многослойные системы
электропроводность
рефлектометрия
магнетронное напыление
Другие авторы Плешанов, Н. К.
Источник информации XXII Всероссийское совещание по неорганическим и органосиликатным покрытиям
Санкт-Петербург : ЛЕМА, 2014
С. 147
RU/IS/BASE/605185673
978-5-98709-787-8
Тип документа b