| Индекс УДК | 544.4:681.7.064.423 |
| Автор | Матвеев, В. А. |
|
Исследование кинетики окисления тонких пленок титана методами нейтронной и рентгеновской рефлектометрии Текст |
|
| Место издания | Санкт-Петербург |
| Издательство | ЛЕМА |
| Дата издания оригинала | 2014 |
| Ключевые слова |
тонкие пленки многослойные системы электропроводность рефлектометрия магнетронное напыление |
| Другие авторы | Плешанов, Н. К. |
