| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/609246672 |
| Дата корректировки | 11:11:12 22 апреля 2019 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.120.52 |
| Автор | Горох, Г. Г. |
|
Сенсоры хеморезистивного типа на комбинированных кремний-нитридных алюмооксидных мембранах Текст |
|
| Место издания | Санкт-Петербург |
| Издательство | ЛЕМА |
| Дата издания | 2014 |
| Библиография | Библиогр.: 2 назв. |
| Ключевые слова |
анодный оксид алюминия диэлектрики диэлектрическая оксид-нитридная кремниевая мембрана анодирование комбинированные мембраны плазмохимическое травление фотолитография |
| Другие авторы | Захлебаева, А. И. |
| Другие авторы |
Хатько, В. В. Таратын, И. А. |
| Источник информации |
XXII Всероссийское совещание по неорганическим и органосиликатным покрытиям Санкт-Петербург : ЛЕМА, 2014 С. 87-88 RU/IS/BASE/605185673 978-5-98709-787-8 |
| Тип документа | b |
