| Индекс УДК | 539.120.52 |
| Автор | Горох, Г. Г. |
|
Сенсоры хеморезистивного типа на комбинированных кремний-нитридных алюмооксидных мембранах Текст |
|
| Место издания | Санкт-Петербург |
| Издательство | ЛЕМА |
| Дата издания | 2014 |
| Ключевые слова |
анодный оксид алюминия диэлектрики диэлектрическая оксид-нитридная кремниевая мембрана анодирование комбинированные мембраны плазмохимическое травление фотолитография |
| Другие авторы | Захлебаева, А. И. |
