| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/608744677 |
| Дата корректировки | 16:20:12 16 апреля 2019 г. |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.78.061:62-488 |
| Автор | Морозова, А. А. |
|
Влияние термообработки в вакууме на химический состав пленок оксида вольфрама Текст |
|
| Место издания | Санкт-Петербург |
| Издательство | ЛЕМА |
| Дата издания оригинала | 2014 |
| Библиография | Библиогр.: 3 назв. |
| Ключевые слова | вакуумная термообработка |
|
магнетронное распыление пленки оксида вольфрама спектры комбинационного рассеяния термообработка в вакууме химический состав |
|
| Другие авторы | Мошкалев, С. А. |
|
Лапшин, А. Е. Ермаков, В. А. Комлев, А. Е. Шаповалов, В. И. |
|
|
XXII Всероссийское совещание по неорганическим и органосиликатным покрытиям Санкт-Петербург : ЛЕМА, 2014 С. 34-35 RU/IS/BASE/605185673 978-5-98709-787-8 |
|
| Тип документа | b |
