| Индекс УДК | 621.78.061:62-488 |
| Автор | Морозова, А. А. |
|
Влияние термообработки в вакууме на химический состав пленок оксида вольфрама Текст |
|
| Место издания | Санкт-Петербург |
| Издательство | ЛЕМА |
| Дата издания оригинала | 2014 |
| Ключевые слова | вакуумная термообработка |
| Другие авторы | Мошкалев, С. А. |
|
XXII Всероссийское совещание по неорганическим и органосиликатным покрытиям Санкт-Петербург : ЛЕМА, 2014 С. 34-35 RU/IS/BASE/605185673 978-5-98709-787-8 |
