| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/547039712 |
| Дата корректировки | 11:36:10 2 мая 2017 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Яновская |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.357.7 |
| Автор | Хмыль, А. А. |
| Титул (звания) | д-р техн. наук, профессор |
| Полное имя | Хмыль, А. А. |
|
Металлизация переходных отверстий в кремнии для создания токопроводящих межсоединений Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2016 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 3 назв. |
| Ключевые слова | электрохимические технологии |
|
интегральные схемы трехмерные интегральные схемы переходные отверстия металлизация отверстий кремний токопроводящие межсоединения медь электролиты меднения электроосаждение меди |
|
| Другие авторы | Кузьмар, И. И. |
| Титул (звание) | канд. техн. наук |
| Полное имя | Кузьмар, И. И. |
|
Кушнер, Л. К. Кушнер, Л. К. Степанова, Л. И. канд. хим. наук Степанова, Л. И. Лазарук, С. К. д-р техн. наук Лазарук, С. К. Долбик, А. В. Долбик, А. В. |
|
| Организация/ юрисдикция | Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники |
| Белорусский государственный университет | |
|
Современные электрохимические технологии и оборудование, 24-25 ноября 2016 г. Минск : БГТУ, 2016 С. 10-13 RU/IS/BASE/541501360 978-985-530-570-6 |
|
| Тип документа | b |
