Поиск

Металлизация переходных отверстий в кремнии для создания токопроводящих межсоединений

Авторы: Хмыль, А. А. Кузьмар, И. И. Кушнер, Л. К. Степанова, Л. И. Лазарук, С. К. Долбик, А. В.
Местонахождение Подробная информация
Индекс УДК 621.357.7
Автор Хмыль, А. А.
Металлизация переходных отверстий в кремнии для создания токопроводящих межсоединений
Текст
Место издания Минск
Издательство БГТУ
Дата издания оригинала 2016
Ключевые слова электрохимические технологии
Другие авторы Кузьмар, И. И.
Современные электрохимические технологии и оборудование, 24-25 ноября 2016 г.
Минск : БГТУ, 2016
С. 10-13
RU/IS/BASE/541501360
978-985-530-570-6