Индекс УДК | 621.357.7 |
Автор | Хмыль, А. А. |
Металлизация переходных отверстий в кремнии для создания токопроводящих межсоединений Текст |
|
Место издания | Минск |
Издательство | БГТУ |
Дата издания оригинала | 2016 |
Ключевые слова | электрохимические технологии |
Другие авторы | Кузьмар, И. И. |
Современные электрохимические технологии и оборудование, 24-25 ноября 2016 г. Минск : БГТУ, 2016 С. 10-13 RU/IS/BASE/541501360 978-985-530-570-6 |