| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/545414935 |
| Дата корректировки | 14:53:41 20 февраля 2018 г. |
| Вид содержания и средства доступа | 2-30 |
| Служба первич. каталог. |
Котляренко БГТУ |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.382.049 |
| Полочн. индекс | 621.3 |
| Авторский знак | Т38 |
|
Могэб, К. К. Могэб |
|
|
Технология СБИС Текст [монография] : в 2 кн. под ред. С. Зи ; пер. с англ. канд. физ.-мат. наук В. Н. Лейкина ; под ред.: д-ра техн. наук Ю. Д. Чистякова, В. Б. Петрова, канд. техн. наук Б. Л. Эйдельмана Кн. 2 |
|
| VLSI technology | |
| Место издания | Москва |
| Издательство | Мир |
| Дата издания оригинала | 1986 |
| Объем | 453 с. |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Аннотация | В книге рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества, металлизации ИС, моделирования основных технологических процессов формирования ИС. Описаны основные технологические схемы изготовления элементов СБИС, методы исследования и контроля технологических процессов, герметизация готовых ИС, тестирование и надежность готовых ИС. |
| Служебное примечание | Sze, S. M. |
|
сухое травление металлизация моделирование технологические процессы изготовление СБИС методы контроля методы диагностики методы сборки герметизация выход годных ИС |
|
|
Фрейзер, Д. Фичтнер, У. Паррильо, Л. Маркус, Р. Стейдел, К. Бертрем, У. |
|
| Тип документа | m |
