| Индекс УДК | 621.382.049 |
|
Технология СБИС Текст [монография] : в 2 кн. под ред. С. Зи ; пер. с англ. канд. физ.-мат. наук В. Н. Лейкина ; под ред.: д-ра техн. наук Ю. Д. Чистякова, В. Б. Петрова, канд. техн. наук Б. Л. Эйдельмана Кн. 2 |
|
| Место издания | Москва |
| Издательство | Мир |
| Дата издания оригинала | 1986 |
| Объем | 453 с. |
| Аннотация | В книге рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества, металлизации ИС, моделирования основных технологических процессов формирования ИС. Описаны основные технологические схемы изготовления элементов СБИС, методы исследования и контроля технологических процессов, герметизация готовых ИС, тестирование и надежность готовых ИС. |
