| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/544622655 |
| Дата корректировки | 8:08:36 5 апреля 2017 г. |
| Вид содержания и средства доступа | 0-11 |
| Служба первич. каталог. |
Котляренко БГТУ |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.382.049.77.002:542 |
| Полочн. индекс | 621.3 |
| Авторский знак | Р 19 |
|
Раков, Эдуард Григорьевич Э. Г. Раков |
|
|
Химия в микроэлектронике (химическое осаждение из газовой фазы) Текст |
|
| Химическое осаждение из газовой фазы | |
| Место издания | Москва |
| Издательство | Знание |
| Дата издания оригинала | 1988 |
| Объем | 45, [2] с. |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
|
Новое в жизни, науке, технике. Химия : изд. ежемес. с 1964 г. № 4 |
|
| Аннотация | В брошюре рассказывается о химическом осаждении из газовой фазы - группе процессов, основанных на различных химических реакциях, с различным механизмом и с целым набором методов инициирования. |
|
микроэлектроника гетерогенные реакции монокристаллы планарная технология лазерная химия лазерное письмо ядерное топливо твердые сплавы благородные камни |
|
|
Тесленко, Владимир Викторович В. В. Тесленко |
|
| Тип документа | m |
