Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Книги
  3. Химическое осаждение из газовой фазы
Поиск

Химическое осаждение из газовой фазы

Авторы: Раков, Эдуард Григорьевич Тесленко, Владимир Викторович
Заказ Местонахождение Подробная информация
Индекс УДК 621.382.049.77.002:542
Химия в микроэлектронике (химическое осаждение из газовой фазы)
Текст
Место издания Москва
Издательство Знание
Дата издания оригинала 1988
Объем 45, [2] с.