| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/544612247 |
| Дата корректировки | 8:08:21 5 апреля 2017 г. |
| Вид содержания и средства доступа | 1-80 |
| Индекс ISSN | 0206-8214 |
| Служба первич. каталог. |
Шостак БГТУ |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.396 |
| Полочн. индекс | 621.3 |
| Авторский знак | Р 15 |
| Мордачев, В. И. | |
| Заглавие | Радиотехника и электроника |
| Физич. носитель | Текст |
| Продолж. заглавия | республиканский межведомственный сборник научных трудов |
| Ответственность | Министерство высшего и среднего специального образования БССР, Минский радиотехнический институт ; [редкол.: проф. В. М. Ильин (гл. ред.) и др.] |
| Номер части/ раздела | Вып. 17 |
| Место издания | Минск |
| Издательство | Вышэйшая школа |
| Дата издания оригинала | 1988 |
| Объем | 123, [1] c. |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Аннотация | В сборник включены работы, отражающие исследования, основные закономерности ионно-плазменных, фотонных и электрохимических процессов при изготовлении интегральных микросхем. Рассмотрены принципы построения и примеры реализации технологических установок и метрологического обеспечения для гибких автоматизированных производственных систем на их основе. |
| Ключевые слова | радиотехника |
|
электроника ионно-плазменные процессы фотонные процессы радиотехнические цепи устройства СВЧ устройства оптического диапазона электрохимические процессы интегральные микросхемы гибкие автоматизированные производственные системы |
|
|
Никитин, А. В. Битус, А. К. Исакович, Н. Н. Бачило, Л. С. Яновский, В. С. Задедюрин, Е. В. Мошинский, А. В. Валенко, В. С. Лущицкий, В. В. Лукьянец, В. Г. Алишев, Я. В. Лефаров, В. А. Новосадов, А. И. Синица, В. Н. Кравченко, В. И. Баранов, В. В. Черных, А. Г. Матсон, Э. А. Вальков, Б. И. Стекольников, А. Ф. Величко, О. И. Шепуров, С. Ю. Шух, А. М. Миловидов, В. С. Самарин, И. А. Кушнер, Л. К. Лабоцкий, В. В. Доминецкий, С. Н. Конопелько, В. К. |
|
| Организация/ юрисдикция | Министерство высшего и среднего специального образования БССР |
| Минский радиотехнический институт | |
| Тип документа | s |
