| Индекс УДК | 621.396 |
| Заглавие | Радиотехника и электроника |
| Физич. носитель | Текст |
| Продолж. заглавия | республиканский межведомственный сборник научных трудов |
| Ответственность | Министерство высшего и среднего специального образования БССР, Минский радиотехнический институт ; [редкол.: проф. В. М. Ильин (гл. ред.) и др.] |
| Номер части/ раздела | Вып. 17 |
| Место издания | Минск |
| Издательство | Вышэйшая школа |
| Дата издания оригинала | 1988 |
| Объем | 123, [1] c. |
| Аннотация | В сборник включены работы, отражающие исследования, основные закономерности ионно-плазменных, фотонных и электрохимических процессов при изготовлении интегральных микросхем. Рассмотрены принципы построения и примеры реализации технологических установок и метрологического обеспечения для гибких автоматизированных производственных систем на их основе. |
| Ключевые слова | радиотехника |
