Маркер записи | n |
Контрольный номер | RU/IS/BASE/544612409 |
Дата корректировки | 15:15:45 8 ноября 2018 г. |
Вид содержания и средства доступа | 3-10 |
Служба первич. каталог. |
Котляренко БГТУ |
Код языка каталог. | rus |
Правила каталог. | PSBO |
Код языка издания | rus |
Индекс УДК | 621.315.592 |
Полочн. индекс | 621.3 |
Авторский знак | П84 |
Чернов, А. А. А. А. Чернов |
|
Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок Текст [сборник докладов] Академия наук СССР Сибирское отделение, Институт неорганической химии ; отв. ред. д-р хим. наук Ф. А. Кузнецов |
|
Процессы роста кристаллов | |
Место издания | Новосибирск |
Издательство | Наука, Сибирское отделение |
Дата издания оригинала | 1981 |
Объем | 277, [1] с. |
Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
Аннотация | В сборнике рассматриваются механизмы эпитаксиального роста слоев из растворов; принципы и методические разработки управления процессами роста кристаллов и пленок; особенности распределения примесей и их состояния в решетке полупроводника, а также разработки методов их изучения. |
кристаллизация жидкофазная эпитаксия выращивание объемных кристаллов примеси в кристаллах примеси в пленках точечные дефекты |
|
Рузайкин, М. П. Тестова, Н. А. Осипова, Г. Е. Тиме, Т. В. Коковин, Г. А. Маслов, В. Н. Соколов, Е. Б. Чегнов, В. П. Чукичев, М. В. Метонидзе, З. А. Колешко, В. М. Ковалевский, А. А. Власукова, Л. А. Дидора, Н. Ф. Дорохов, А. Н. Румянцев, Ю. М. Файнер, Н. И. Заможский, В. Д. Шеметов, Е. В. Кузнецов, Ф. А. |
|
Академия наук СССР Сибирское отделение Институт неорганической химии |
|
V Всесоюзный симпозиум по процессам синтеза и роста кристаллов и пленок полупроводников Новосибирск 1978 6 - 8 июня |
|
Тип документа | m |