Индекс УДК | 621.315.592 |
Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок Текст [сборник докладов] Академия наук СССР Сибирское отделение, Институт неорганической химии ; отв. ред. д-р хим. наук Ф. А. Кузнецов |
|
Место издания | Новосибирск |
Издательство | Наука, Сибирское отделение |
Дата издания оригинала | 1981 |
Объем | 277, [1] с. |