| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/541602056 |
| Дата корректировки | 10:32:54 6 марта 2017 г. |
| Вид содержания и средства доступа | 0-70 |
| Служба первич. каталог. |
Лапко БГТУ |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.382.049.77(075.8) |
| Полочн. индекс | 621.3 |
| Авторский знак | Д70 |
|
Достанко, Анатолий Павлович А. П. Достанко |
|
|
Технология интегральных схем Текст учебное пособие для студентов радиотехнических специальностей вузов |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Вышэйшая школа |
| Дата издания оригинала | 1982 |
| Объем | 205, [1] с. |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Аннотация | В пособии рассматриваются теоретические основы технологических процессов производства интегральных схем (ИС), оборудование для их реализации. |
|
технология интегральных схем интегральные схемы полупроводниковые материалы ИС гибридные тонкопленочные ИС гибридные толстопленочные ИС |
|
| Тип документа | m |
