| Индекс УДК | 621.382.049.77(075.8) |
|
Технология интегральных схем Текст учебное пособие для студентов радиотехнических специальностей вузов |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Вышэйшая школа |
| Дата издания оригинала | 1982 |
| Объем | 205, [1] с. |
| Аннотация | В пособии рассматриваются теоретические основы технологических процессов производства интегральных схем (ИС), оборудование для их реализации. |
