Поиск

Формирование покрытия на кремнии Cr в условиях ионного ассистирования

Авторы: Бобрович, Олег Георгиевич Ташлыков, И. С.
Местонахождение Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/523709368
Дата корректировки 16:35:39 20 января 2021 г.
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Служба первич. каталог. Яновская
БГТУ
Код языка издания rus
Индекс УДК 539.211:539.1.06
Автор Бобрович, Олег Георгиевич
Титул (звания) доцент
Полное имя Бобрович, О. Г.
Формирование покрытия на кремнии Cr в условиях ионного ассистирования
Электронный ресурс
Место издания Минск
Издательство БГТУ
Дата издания 2016
Ключевые слова ионное ассистирование
кремний
покрытия
формирование покрытий
Другие авторы Ташлыков, И. С.
Титул (звание) профессор, д-р физ.-мат. наук
Полное имя Ташлыков, И. С.
Организация/ юрисдикция Белорусский государственный технологический университет
Другие уровни Кафедра физики
Учреждение образования "Белорусский государственный педагогический университет им. М. Танка"
Физико-математические науки
Минск : БГТУ, 2016
С. 16
RU/IS/BASE/512560010
Тип документа b