| Индекс УДК | 539.211:539.1.06 |
| Автор | Бобрович, Олег Георгиевич |
|
Формирование покрытия на кремнии Cr в условиях ионного ассистирования Электронный ресурс |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания | 2016 |
| Ключевые слова |
ионное ассистирование кремний покрытия формирование покрытий |
| Другие авторы | Ташлыков, И. С. |
|
Физико-математические науки Минск : БГТУ, 2016 С. 16 RU/IS/BASE/512560010 |
