Поиск

Plasma Chemistry

Авторы: Veprek, S. Venugopalan, M. Coburn, J. Dilks, A. Bell, A. T. Winters, H. F.
Заказ Местонахождение Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/521288125
Дата корректировки 11:37:41 28 июля 2016 г.
Цена, тираж 18-89
Служба первич. каталог. Перепелкина
БГТУ
Код языка каталог. eng
Правила каталог. PSBO
Код языка издания eng
Индекс УДК 541
Полочн. индекс 541
Авторский знак P 71
Автор Veprek, S.
Роль лиц editor
Полное имя S. Veprek
Plasma Chemistry
Text
[a collection of review articles]
[editors: S. Veprek, M. Venugopalan ; autorenkollektiv: E. Kay et al.]
Место издания Berlin
Издательство Akademie-Verlag
Дата издания оригинала 1981
Объем 125 p.
Иллюстрации/ тип воспроизводства ill., tabl.
Серия Topics in Current Chemistry
N тома Vol. 94
Аннотация This chapter deals with the physical and chemical processes which take place in fluorocarbon plasmas.
плазмохимия
фторуглероды
плазменная полимеризация
фторуглеродная плазма
плазма фторуглеродная
Другие авторы Venugopalan, M.
Роль лиц editor
Полное имя M. Venugopalan
Coburn, J.
author
J. Coburn
Dilks, A.
author
A. Dilks
Bell, A. T.
author
A. T. Bell
Winters, H. F.
author
H. F. Winters
Тип документа m