| Индекс УДК | 541 |
| Автор | Veprek, S. |
|
Plasma Chemistry Text [a collection of review articles] [editors: S. Veprek, M. Venugopalan ; autorenkollektiv: E. Kay et al.] |
|
| Место издания | Berlin |
| Издательство | Akademie-Verlag |
| Дата издания оригинала | 1981 |
| Объем | 125 p. |
| Аннотация | This chapter deals with the physical and chemical processes which take place in fluorocarbon plasmas. |
| Другие авторы | Venugopalan, M. |
