Газоразрядная эпитаксия кремниевых структур
Воробей, Р. И. , Гусев, О. К., Тявловский, К. Л., Шадурская, Л.И. , Свистун, А. И.
Газоразрядная эпитаксия кремниевых структур, [Текст]
Минск :
БНТУ ,
2020 .-
Приборостроение - 2020, Минск : БНТУ, 2020, С. 101-103, RU/IS/BASE/672143416, 978-985-583-587-6
