Поиск

Газоразрядная эпитаксия кремниевых структур

Авторы: Воробей, Р. И. Гусев, О. К. Тявловский, К. Л. Шадурская, Л.И. Свистун, А. И.
Местонахождение Подробная информация
Индекс УДК 621.3.049.774
Газоразрядная эпитаксия кремниевых структур
Текст
Место издания Минск
Издательство БНТУ
Дата издания оригинала 2020
Приборостроение - 2020
Минск : БНТУ, 2020
С. 101-103
RU/IS/BASE/672143416
978-985-583-587-6