Установка определения и анализа точечных дефектов на поверхности полупроводниковых пластин
Прислопский, С. Я., Смирнов, А. Г., Станкевич, В. В., Балыкин, И. В., Рыжевич, А. А.
Установка определения и анализа точечных дефектов на поверхности полупроводниковых пластин, [Текст]
Минск :
Беларуская навука ,
2019 .-
ил.
Молодежь в науке - 2019. Аграрные, биологические, гуманитарные, медицинские, физико-математические, физико-технические науки, химия и науки о Земле, Минск : Беларуская навука, 2019, С. 427-429, RU/IS/BASE/638889749, 978-985-08-2501-8
