Осаждение и исследование тонких пленок CVD-алмаза, легированных бором
Мартынова, Т. В., Полушин, Н. И., Лаптев, А. И., Маслов, А. Л., Спицын, Б. В., Алексеенко, А. Е., Аверин, А. А., Архипушкин, И. А.
Осаждение и исследование тонких пленок CVD-алмаза, легированных бором , [Электронный ресурс]
Минск :
БГТУ ,
2021 .-
ил.
RU/IS/BASE/696343831, Инновационные материалы и технологии - 2021, Минск : БГТУ, 2021, С. 382-384
