Влияние режимов травления на морфологию поверхности многослойного пористого кремния
Леньшин, А. С., Пешков, Я. А., Черноусова, О. В., Канныкин, С. В., Гречкина, М. В., Агапов, Б. Л.
Влияние режимов травления на морфологию поверхности многослойного пористого кремния, [Электронный ресурс]
Минск :
БГТУ ,
2023 .-
табл.
RU/IS/BASE/733927329, Инновационные материалы и технологии - 2023, Минск : БГТУ, 2023, С. 171-172
