Влияние термообработки в вакууме на химический состав пленок оксида вольфрама
Морозова, А. А., Мошкалев, С. А., Лапшин, А. Е., Ермаков, В. А., Комлев, А. Е., Шаповалов, В. И.
Влияние термообработки в вакууме на химический состав пленок оксида вольфрама, [Текст]
Санкт-Петербург :
ЛЕМА ,
2014 .-
XXII Всероссийское совещание по неорганическим и органосиликатным покрытиям, Санкт-Петербург : ЛЕМА, 2014, С. 34-35, RU/IS/BASE/605185673, 978-5-98709-787-8
